国家知识产权局信息显示，佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司申请一项名为“离子束扫描刻蚀方法及真空刻蚀机”的专利，公开号CN122260573A，申请日期为2026年5月。

专利摘要显示，本申请涉及真空刻蚀技术领域，特别是一种离子束扫描刻蚀方法及真空刻蚀机，其中，所述刻蚀方法包括：在基片上进行光刻得到波导图形；将基片装载到真空刻蚀机的工件台上，调整基片方位使得基片的波导图形方向与工件台的扫描方向对齐并保持平行；然后启动真空刻蚀机引出离子束对基片进行刻蚀，并控制工件台沿扫描方向进行扫描运动，使得离子束以近似掠入射的角度作用于与扫描方向平行的波导侧壁；在刻蚀完成后，移除基片上剩余的掩模层得到具有高垂直度侧壁的波导结构；该技术方案，可以得到具有高垂直度侧壁的波导结构，实现对刻蚀剖面和侧壁形貌的主动、精确调控。

天眼查资料显示，佛山市博顿光电科技有限公司，成立于2020年，位于佛山市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本10000万人民币。通过天眼查大数据分析，佛山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目22次，专利信息138条，此外企业还拥有行政许可11个。

中山市博顿光电科技有限公司，成立于2016年，位于中山市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本870.3913万人民币。通过天眼查大数据分析，中山市博顿光电科技有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目23次，财产线索方面有商标信息21条，专利信息179条，此外企业还拥有行政许可19个。

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